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1表面質(zhì)量
目測外觀符合附表1相關(guān)要求。對整包硅片重點(diǎn)查看B4,B7、TTV、缺口、碎片、油污等情況;整包里的B4片在迎光側(cè)表現(xiàn)為“亮點(diǎn)”背光側(cè)較暗;B7、TTV片手感表現(xiàn)較重的,利用分選機(jī)重新分選;油污一般為斑點(diǎn)形式,擦拭不掉,無論面積大小均需重新清洗。
2 外型尺寸
通過硅片自動分選機(jī)分選判定,符合附表1相關(guān)要求。
3 電性能
依據(jù)硅錠/硅塊測試數(shù)據(jù)判定,必要時(shí)用相關(guān)測試儀器核實(shí)。
3抽檢方法
(1)對硅片車間自檢合格的包裝硅片或直傳片,采取一次抽檢(抽檢比例8%),不合格比例不高于0.5%。每次抽檢不合格率大于0.5%時(shí),通知清洗班長重新分選,對重新分選片抽檢合格后可入庫。
(2)抽?。福ス杵M(jìn)行檢測,其結(jié)果作為該批硅片合格的判定依據(jù)。
注:針對分選機(jī)現(xiàn)狀,分選機(jī)分選A等硅片由清洗工序包裝時(shí)進(jìn)行簡易分選;B3、B5、B9硅片人工分選,B7、B8硅片分選時(shí)加大抽檢力度,避免不合格硅片混入。
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